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本文標題:"一般認為顯微鏡的分辨率粗略地等于它所使用的光的波長"

新聞來源:未知 發布時間:2014-4-17 17:18:41 本站主頁地址:http://www.grahamnapier.com

 一般認為顯微鏡的分辨率粗略地等于它所使用的光的波長

    一般認為顯微鏡的分辨率粗略地等于它所使用的光的波長。由于典
型的電子束波長小于1A,因此電子顯微鏡具有極大的放大倍數。

    電子顯微鏡與光學顯微鏡的原理對比,圖中表明透鏡聚焦的光線和
用磁線圈聚焦的電子束間的相似性。熱絲陰極產生的電子由50000 至200000
伏左右的電壓加速通過陽極后,經過準直,即達到樣品并被樣品散射、
透射、吸收或衍射。有些的電子顯微鏡觀察,樣品不是材料本身,而是
其它材料的薄膜。雖然高分辨率電子顯微鏡有2A的分辨率,但一般電子
顯做鏡,其分辨率只有5~30A.

    掃描電鏡可以直接觀察樣品表面,它以電子探針的方式進行電子束
掃描。由于既存在背散射電子又存在次級發射電子,因此能形成深聚焦
的像。這使它可以特別清楚地揭示材料斷裂過程中所產生的不規則表面。
掃描電鏡對直接觀察熱腐蝕或其他通過高溫處理的樣品時,在放大倍數
方面具有很大的靈活性。如果在樣品表面產生電勢差的話,掃描電鏡能
記錄這些差異,因此掃描電鏡能用在半導體研究方面,來揭示通常不易
發覺的p 一n 結特征。

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